潔凈室的檢測規(guī)范

在測試無塵室之前，若是能對測試規(guī)范、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。
　　有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的標準，在網絡上用〝contamination control〞搜尋，可以找到很多相關數據。無塵室的定義，zui早是在美國聯邦標準209上出現，之后日漸普及并廣為半導體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代后期，產業(yè)界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的化，于是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規(guī)范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯邦標準209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應科技進步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的zui后一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、中國臺灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的制造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，但是要等舊機器*淘汰，恐怕還要很長時間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒能取代209E。
2.ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的標準ISO-14644。14644系列有8個子題<Part>，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其它的有關設備等，范圍很廣。有些主題已經定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿<Draft>，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO或IEST的上訂購。
3.JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標準，規(guī)定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔凈度的等級定義。
4.VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標準，規(guī)定潔凈度等級的定義方式，以及潔凈度的測量技術。
5.Gost-R 50766 (1995)：俄的潔凈標準，定義無塵室的分類與一般需求。 
　　以上是無塵室等級規(guī)定，與潔凈度測量的相關標準。另外有關無塵室污染控制<也就是潔凈度控制>，和環(huán)境控制<如溫濕度、震動噪音等>，也有一些重要的測試規(guī)范，因為這些環(huán)境影響因素，都包含在無塵室性能測試的范圍之內。
1.IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規(guī)范，目的就是為了補209的不足。209只有微粒測量，006 包括了風速風量、濾網泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T，006.2是第二版。現在由于 NEBB 的興起，0062已經功成身退，逐漸消失了。
2.NEBB 無塵室測試規(guī)范第二版：這是目前zui廣為流行的測試規(guī)范，提到無塵室認證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 無塵室測試規(guī)范，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋范圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規(guī)定。因此 NEBB 無塵室測試規(guī)范的出現，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 無塵室測試規(guī)范成功的成為產業(yè)標準。有關 NEBB，請參照本站 NEBB。
3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個子題，是有關無塵室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。 
　　每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規(guī)范，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規(guī)范也只是一個參考。各公司在訂定測試規(guī)格時，應依照自己的制程需求，在上述規(guī)范里取出自己適用的部份，并要求供貨商與測試單位照辦，必要時可以酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。